چکیده
این مقاله به بررسی یک فیلتر میان گذر مبتنی بر دیاپازون MEMS چنگال کوک دو سر در فناوری CMOS استاندارد تجاری می پردازد. طراحی دقیق این رزوناتور حاکی از قابلیت انجام فیلترینگ بدون نیاز به کوپلینگ رزوناتور های مختلف می باشد. ویژگی اصلیف تعریف فرکانس روزنانس حالت غیر فازی DEFT کوچک تر از فرکانس حالت درون فازی است. تعیین مشخصات الکتریکی نشان می دهد که این فیلتر میان گذر تک پایه می باشد که دارای فرکانس مرکزی 44.4 مگاهرتز با پهنای باند 0/6 درصد در هوا است.
1-مقدمه
پیاده سازی فیلتر بر اساس کوپلینگ الکتریکی(1) و مکانیکی(2-3) دو یا چند رزوناتور برای ارایه میان گذری برای کاربرد های فیلتر می باشند که موجب کاهش بازده فرایند تولید می شود. ایده اصلی این کار استفاده از رزوناتور می باشد که دو حالت روزنانس نزدیک به فرکانس(4) را برای ایحاد یک فیلتر میان کذر استفاده می کنند.
Abstract
This paper presents a single Double-Ended Tuning Fork (DETF) MEMS resonator-based band-pass filter fabricated on a commercial standard CMOS technology. The accurate design of this resonator demonstrates the ability to perform filtering without the need of coupling multiple resonators. The main characteristic is to define the out-of-phase mode resonance frequency of the DETF smaller than the in-phase mode frequency. The electrical characterization shows that this stand-alone band-pass filter presents a 44.4MHz central frequency with a 0.6% bandwidth in air.
1. Introduction
Typical filter implementations are based on electrical [1] or mechanical [2, 3] coupling of two or more resonators to provide the required band-pass for filter applications, which can decrease the fabrication process throughput. The main idea behind this work is to use a resonator that inherently presents two near frequency resonance modes [4] in order to create the filter band-pass.
چکیده
1-مقدمه
2-توصیف و تولید رزوناتور
3-بحث و نتایج آزمایشی
4-نتیجه گیری
Abstract
1. Introduction
2. Resonator fabrication and description
3. Experimental results and discussion
4. Conclusions